Các tiêu chuẩn về lượng bụi hay độ sạch

Các tiêu chuẩn về phòng sạch bao gồm có nồng độ bụi, nhiệt độ, độ ẩm và áp suất. Như vậy đối với phòng sạch thường giải quyết năm vấn đề chính là Nhiệt độ (Temperature), Độ ẩm (Humidity), Áp suất phòng (Room Pressurization), Độ sạch (Cleanliness) và Vấn đề nhiễm chéo (Cross- Contamination).

Tiêu chuẩn phòng sạch

Các tiêu chuẩn về lượng bụi hay độ sạch:

Tiêu chuẩn đầu tiên của phòng sạch là hàm lượng bụi, tức là hàm lượng các hạt bụi lơ lửng trong không khí được khống chế đến mức nào. Nếu ta so sánh một cách hình tượng, đường kính sợi tóc người vào cỡ 100μm, hạt bụi trong phòng có thể có đường kính từ 0.5µm đến 50μm.

Các tiêu chuẩn về phòng sạch lần đầu tiên được đưa ra vào năm 1963 ở Mỹ và hiện nay đã trở thành các tiêu chuẩn chung cho thế giới. Đó là các tiêu chuẩn quy định lượng hạt bụi trong một đơn vị thể tích không khí. Người ta chia thành các tầm kích cỡ bụi và loại phòng được xác định bởi số hạt bụi có kích thước lớn hơn 0.5μm trên một thể tích là 1 foot khối (ft3) không khí trong phòng.

Tiêu chuẩn Federal Standard 209 (1963)
Tiêu chuẩn Federal Standard 209 E (1992)

Tiêu chuẩn này xác định hàm lượng bụi lửng có trong không khí theo đơn vị chuẩn (đơn vị thể tích không khí là m³). Sự phân loại phòng sạch được xác định theo thang loga của hàm lượng bụi có đường kính lớn hơn 0.5µm. Dưới đây là bảng tiêu chuẩn FS 209 E.

Giới hạn bụi trong tiêu chuẩn 209E (1992)

Tên loại		Các giới hạn
Tên loại		≥ 0.1µm		≥ 0.2µm		≥ 0.3µm		≥ 0.4µm		≥ 0.5µm
SI	English	Đơn vị		Đơn vị		Đơn vị		Đơn vị		Đơn vị
M1		350	9.91	575	2.14	20.9	0.875	10.0	0.283	-	-
M1.5	1	1240	35.0	265	7.50	106	3.00	35.3	1.00	-	-
M2		3500	99.1	757	21.4	309	8.75	100	2.83	-	-
M2.5	10	12400	350	2650	75.0	1060	30.0	353	10.0	-	-
M3		35000	991	7570	214	3090	87.5	1000	28.3	-	-
M3.5	100	-	-	26500	750	10600	300	3530	100	-	-
M4		-	-	75700	2140	30900	875	10000	283	-	-
M4.5	1000	-	-	-	-	-	-	35300	1000	247	7.00
M5		-	-	-	-	-	-	100000	2830	618	17.5
M5.5	10000	-	-	-	-	-	-	353000	10000	2470	70.0
M6		-	-	-	-	-	-	1000000	28300	6180	175
M6.5	100000	-	-	-	-	-	-	3500000	100000	24700	700
M7		-	-	-	-	-	-	10000000	283000	61800	1750

Tiêu chuẩn ISO 14644-1

Tổ chức Tiêu chuẩn Quốc tế (International Standards Organization - ISO) đã quy định các tiêu chuẩn về phòng sạch tiêu chuẩn quốc tế. Tiêu chuẩn ISO 14644-1 được phát hành năm 1999 có tên "Phân loại độ sạch không khí" (Classification of Air Cleanliness). Các loại phòng sạch được quy định dựa trên biểu thức: Cn = 10N x [0,1D] x 2,08

Trong đó:

Cn là hàm lượng cho phép tối đa (tính bằng số hạt/m³) của bụi lửng không khí lớn hơn hoặc bằng kích thước xem xét.
N là chỉ số phân loại ISO, không vượt quá 9 và chỉ số cho phép nhỏ nhất là 0,1.
D là đường kính hạt tính theo μm; 0,1 ở đây là hằng số với thứ nguyên là μm.

Như vậy, có thể dễ dàng xác định các giới hạn hàm lượng bụi từ công thức trên và dễ dàng phân loại từng cấp phòng sạch.

Loại	Giới hạn nồng độ cho phép (hạt)
Loại	0.1µm	0.2µm	0.3µm	0.5µm	1µm	5µm
ISO1	10	2	-	-	-	-
ISO2	100	24	10	4	-	-
ISO3	1000	237	102	35	8	-
ISO4	10000	2370	1020	352	83	-
ISO5	100000	23700	10200	3520	832	29
ISO6	1000000	237000	102000	35200	8320	293
ISO7	-	-	-	352000	83200	2930
ISO8	-	-	-	3520000	832000	29300
ISO9	-	-	-	35200000	8320000	293000

Tiêu chuẩn về nhiệt độ độ ẩm và áp suất

Tiêu chí này phụ thuộc vào điều kiện làm viêc trong các phòng sạch. Mỗi ngành có thể có thêm các đòi hỏi riêng cho mình, ví dụ như làm về công nghiệp vi mạch bán dẫn đòi hỏi khác với ngành y hay thực phẩm... trong công nghiệp bán dẫn thao tác với các phần tử vật liệu tới cỡ micron, vì thế mà yêu cầu rất khắt khe về hàm lượng bụi nhỏ, trong khi ngành y tế hay thực phẩm lại đòi hỏi cao về mức độ sạch nhiệt độ cũng như áp suất.

CÔNG TY CỔ PHẦN KỸ THUẬT VIỆT PHÁT

🏠 Địa chỉ: 572 Lê Quang Định, Phường 1, Quận Gò Vấp, TP. Hồ Chí Minh

☎️ Hotline: 02871 077 078 (8:00 - 17:00)

📱 Tổng đài trực 24/7: 0971 344 344

📧 Yêu cầu báo giá: sales@vietphat.com

🌐 Website: https://www.vietphat.com/

🚚 Giao hàng tận nơi