Tính đến thời điểm hiện tại thì các tiêu chuẩn về lượng bụi hay độ sạch của phòng sạch có rất nhiều. Ví dụ như kiểm soát nồng độ bụi, nhiệt độ, độ ẩm và áp suất là các tiêu chuẩn về lượng bụi hay độ sạch mà phòng sạch cần quản lý.
Tiêu chuẩn đầu tiên của phòng sạch là hàm lượng bụi, tức là hàm lượng các hạt bụi lơ lửng trong không khí được khống chế đến mức nào. Nếu ta so sánh một cách hình tượng, đường kính sợi tóc người vào cỡ 100μm, hạt bụi trong phòng có thể có đường kính từ 0,5 đến 50μm (xem hình ảnh so sánh).
Các tiêu chuẩn về phòng sạch lần đầu tiên được đưa ra vào năm 1963 ở Mỹ, và hiện nay đã trở thành các tiêu chuẩn chung cho thế giới. Đó là các tiêu chuẩn quy định lượng hạt bụi trong một đơn vị thể tích không khí. Người ta chia thành các tầm kích cỡ bụi và loại phòng được xác định bởi số hạt bụi có kích thước lớn hơn 0,5μm trên một thể tích là 1 foot khối (ft3) không khí trong phòng.
Tiêu chuẩn này xác định hàm lượng bụi lửng trong không khí theo đơn vị chuẩn (đơn vị thể tích không khí là m3). Sự phân loại phòng sạch được xác định theo thang loga của hàm lượng bụi có đường kính lớn hơn 0,5 µm. Dưới đây là bảng tiêu chuẩn FS 209 E.
Bảng: Giới hạn bụi trong tiêu chuẩn 209E(1992)
Tên loại |
Các giới hạn |
||||||||||
≥0.1µm |
≥0.2µm |
≥0.3µm |
≥0.5µm |
≥5.0µm |
|||||||
Đơn vị |
Đơn vị |
Đơn vị |
Đơn vị |
Đơn vị |
|||||||
SI |
English |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
M1 |
|
350 |
9.91 |
575 |
2.14 |
20.9 |
0.875 |
10.0 |
0.283 |
- |
- |
M1.5 |
1 |
1240 |
35.0 |
265 |
7.50 |
106 |
3.00 |
35.3 |
1.00 |
- |
- |
M2 |
|
3500 |
99.1 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
- |
- |
M2.5 |
10 |
12400 |
350 |
2650 |
75.0 |
1060 |
30.0 |
353 |
10.0 |
- |
- |
M3 |
|
35000 |
991 |
7570 |
214 |
3090 |
87.5 |
1000 |
28.3 |
- |
- |
M3.5 |
100 |
- |
- |
26500 |
750 |
10600 |
300 |
3530 |
100 |
- |
- |
M4 |
|
- |
- |
75700 |
2140 |
30900 |
875 |
10000 |
283 |
- |
- |
M4.5 |
1000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
35300 |
1000 |
247 |
7.00 |
M5 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
100000 |
2830 |
618 |
17.5 |
M5.5 |
10000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
353000 |
10000 |
2470 |
70.0 |
M6 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
1000000 |
28300 |
6180 |
175 |
M6.5 |
100000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
3500000 |
100000 |
24700 |
700 |
M7 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
10000000 |
283000 |
61800 |
1750 |
Tổ chức Tiêu chuẩn Quốc tế (International Standards Organization - ISO) đã quy định các tiêu chuẩn về phòng sạch tiêu chuẩn quốc tế. Tiêu chuẩn ISO 14644-1 được phát hành năm 1999 có tên "Phân loại độ sạch không khí" (Classification of Air Cleanliness). Các loại phòng sạch được quy định dựa trên biểu thức:
Cn=10N[0,1D]2,08
Với:
- Cn là hàm lượng cho phép tối đa (tính bằng số hạt/m3) của bụi lửng không khí lớn hơn hoặc bằng kích thước xem xét.
- N là chỉ số phân loại ISO, không vượt quá 9 và chỉ số cho phép nhỏ nhất là 0,1.
- D là đường kính hạt tính theo μm 0,1 ở đây là hằng số với thứ nguyên là μm.
Như vậy, có thể dễ dàng xác định các giới hạn hàm lượng bụi từ công thức trên và dễ dàng phân loại từng cấp phòng sạch (bảng 1.3).
Bảng 1.2 Các giới hạn hàm lượng bùi trong tiêu chuẩn ISO 14644-1
Loại |
Giới hạn nồng độ cho phép |
|||||
0.1µm |
0.2µm |
0.3µm |
0.5µm |
1µm |
5µm |
|
ISO1 |
10 |
2 |
- |
- |
- |
- |
ISO2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
- |
- |
ISO3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
- |
ISO4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
- |
ISO5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
ISO6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
ISO7 |
- |
- |
- |
352000 |
83200 |
2930 |
ISO8 |
- |
- |
- |
3520000 |
832000 |
29300 |
ISO9 |
- |
- |
- |
35200000 |
8320000 |
293000 |
Tiêu chí này phụ thuộc vào điều kiện làm viêc trong các phòng sạch. Mỗi ngành có thể có thêm các đòi hỏi riêng cho mình, ví dụ như làm về công nghiệp vi mạch bán dẫn đòi hỏi khác với ngành y hay thực phẩm... trong công nghiệp bán dẫn thao tác với các phần tử vật liệu tới cỡ micron, vì thế mà yêu cầu rất khắt khe về hàm lượng bụi nhỏ, trong khi ngành y tế hay thực phẩm lại đòi hỏi cao về mức độ sạch nhiệt độ cũng như áp suất.
CÔNG TY CỔ PHẦN KỸ THUẬT VIỆT PHÁT
🏠 Địa chỉ: 572 Lê Quang Định, Phường 1, Quận Gò Vấp, TP. Hồ Chí Minh
☎️ Hotline: 02871 077 078 (8:00 - 17:00)
📱 Tổng đài trực 24/7: 0971 344 344
📧 Yêu cầu báo giá: sales@vietphat.com
🌐 Website: https://www.vietphat.com/
🚚 Giao hàng tận nơi