Phòng sạch là phòng (không khí trong phòng, bề mặt thiết bị, tường, trần...) có mức độ ô nhiễm thấp, ô nhiễm ở đây là bụi, vi khuẩn,vi sinh vật, khí độc, hơi hóa chất... Mức độ yêu cầu sạch của phòng sạch tùy thuộc vào từng lĩnh vực mà có tiêu chuẩn sạch cụ thể.
Từ đó, việc thiết kế và thi công phòng sạch sẽ được thực hiện khác nhau nhằm kiểm soát môi trường trong phòng đạt độ sạch theo yêu cầu của từng ngành. Thông thường người ta sẽ dựa vào kích thước các hạt bụi khác nhau có trong phòng để xây dựng nên các tiêu chuẩn xây dựng khác nhau.
CÁC GIỚI HẠN HÀM LƯỢNG BỤI TRONG TIÊU CHUẨN ISO 14644-1 (1999) |
||||||
Loại |
Giới hạn nồng độ cho phép (hạt/m³) |
|||||
0,1 µm |
0,2 µm |
0,3 µm |
0,5 µm |
1 µm |
5 µm |
|
ISO 1 |
10 |
2 |
- |
- |
- |
- |
ISO 2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
- |
- |
ISO 3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
- |
ISO 4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
- |
ISO 5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
ISO 6 |
100000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
ISO 7 |
- |
- |
|
352000 |
83200 |
2930 |
ISO 8 |
- |
- |
|
3520000 |
832000 |
29300 |
ISO 9 |
- |
- |
|
35200000 |
8320000 |
293000 |
TCVN 8664-1:2011 còn quy định rất rõ ràng về các điểm lấy mẫu, các vị trí lấy mẫu thời gian lấy mẫu, thời gian kiểm tra lại (hợp chuẩn) và các trường hợp bắt buộc phải kiểm tra. Dù phòng sạch được chia làm nhiều cấp độ khác nhau, tuy nhiên vẫn có một số điểm chung về các thiết bị lọc phòng phòng sạch.
1. Pass Box còn gọi là hộp chuyển sản phẩm, là trạm chung chuyển đồ vật từ môi trường phòng sạch ra môi trường ngoài và ngược lại.
2. Air Shower còn gọi là buồng thổi khí, là trạm chung chuyển ra vào phòng sạch.
3. Clean Bench, Clean Booth là những thiết bị thường được đặt trong phòng sạch, có môi trường sạch rất cao, có thể đạt tới class 100.
Đây là những thiết bị phòng sạch cao cấp đáp ứng được các nhu cầu xử lý trong môi trường siêu sạch. Khách hàng có nhu cầu mua các thiết bị phòng sạch liên hệ Việt Phát để được tư vấn thêm.